技术参数 |
|
旋转工作台 |
旋转精度(径向):(0.02+6H/10000)um |
|
旋转精度(轴向):(0.02+6R/10000)um |
|
旋转速度:4、6、10rpm |
|
工作台有效直径:φ150mm |
|
最大调心幅度:±3mm(带有D.A.T.功能) |
|
最大调水平幅度:±1°(带有D.A.T.功能) |
|
最大测量直径:φ100mm |
|
最大工件直径:φ400mm |
|
最大工件重量:10kg |
垂直轴(Z轴) |
垂直移动:150mm |
|
直线度(窄范围):0.15 um /50 mm |
|
直线度(全范围):0.3 um /150 mm |
|
与转台轴的平行度:0.3 um /150 mm |
|
定位速度:利用操作杆,最大15mm/S(也可手动进给) |
|
测量速度:0.5、1、2、5mm/S |
|
最大测量高度:150mm(外径),150mm(内径) |
|
最大测量深度:90mm |
水平臂(X轴) |
水平移动:75mm(包括旋转工作台旋转中心的突出量25mm |
|
定位速度:利用操作杆,最大8mm/S(也可手动进给) |
测头与测针 |
测量范围:±400um |
|
测量力:7~10mN |
|
标准测针:(12AAAB681):硬质合金球ф1.6mm |
|
测量方向:双方向 |
|
测头角度调整:±45°(带刻度) |
数据分析系统 |
Roundpak分析软件 |
|
滤波类型:2CRPC-75% / 50%,2CR-75%/50%(相位校正), |
|
高斯滤波器、滤波器关断 |
|
截止值: 15upr,50upr,150upr,500upr,1500upr,15-150 upr, |
|
15-500 upr,15-1500 upr,50-500 upr,150 upr,手动设定 |
|
带通:15-150upr,15-500upr,50-500upr或任意 |
|
用于圆度评估的参考圆:LSC,MZC,MIC,MCC |